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中国科学院上海微系统与信息技术研究所加工定制超高真空电子束蒸发模块服务采购项目竞争性磋商

发布时间：2025-01-09 22:28

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项目概况
中国科学院上海微系统与信息技术研究所加工定制超高真空电子束蒸发模块服务采购项目采购项目的潜在供应商应在ww*************获取采购文件，并于20**年01月20日09点30分（北京时间）前提交响应文件。
一、项目基本情况
项目编号：OI*************
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所加工定制超高真空电子束蒸发模块服务采购项目
采购方式：竞争性磋商
预算金额：15********万元（人民币）
采购需求：
包号
服务名称
简要技术规格
服务期
采购预算（人民币）
1
加工定制超高真空电子束蒸发模块服务
1）蒸镀腔的极限真空度可达5×10** To**；
2）蒸镀镀膜均匀性在6英寸范围内优于±3%；
3）样品台水冷液氮兼容设计，冷却同时可旋...

下文还有1827字